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Sistema de calibração de referência para pressão muito baixa
- Cobre a faixa de 0 a 15 kPa (113 Torr) nos modos manométrico, absoluto diferencial e absoluto.
- Resolução até 1 mPa (0,0075 mTorr, 0,000004 pol. de H2O).
- Incerteza de medição até:± (5 mPa + 30 ppm da leitura) em modo manométrico, absoluto diferencial, ± (8 mPa + 30 ppm da leitura) em modo absoluto.
- Operação totalmente automatizada incluindo controle de pressão e aquisição de dados DUT permite que os testes de multiincremento sejam executados sem supervisão. Correção de transpiração térmica integrada disponível, quando necessário.
O FPG8601 atende à necessidade de meios de manter rastreabilidade a longo prazo com muito baixa incerteza na faixa de pressão sob aquela faixa coberta pelos medidores de pistão convencionais.
A faixa de medição coberta vai desde zero (0,5 Pa) para modo de pressão absoluta a 15 kPa (112 Torr, 2,2 psi) nos modos de pressão namométrica e absoluta. A incerteza da medição é a combinação de ± 30 ppm de leitura e um componente de limite da extremidade baixo o suficiente para suportar a calibração de padrões de transferência típicos com faixas tão baixas quanto 130 Pa (1 Torr, 0,5 pol.. de H2O), e até mesmo 13 Pa (100 mTorr, 0, 05 pol.. de H2O).
A incerteza da medição do FPG8601 é documentada em uma análise de incerteza completa. A estabilidade do instrumento ao longo do tempo depende da estabilidade da massa de aço inoxidável e do módulo pistão-cilindro em carboneto de tungstênio, permitindo que o intervalo da calibração do FPG8601 seja igual ao dos medidores de pistão convencionais sem nenhuma outra exigência de manutenção especial.
Além do seu excelente desempenho metrológico, o FPG8601 oferece operação totalmente automatizada; tamanho e peso razoáveis e não possui qualquer exigência ambiental além daquelas típicas encontradas em um laboratório metrológico de última geração.
Princípios operacionais
Medição
O FPG8601 opera com um princípio de medidor de pistão bem conhecido no qual a pressão aplicada à área efetiva do pistão-cilindro é transformada em uma força proporcional. No entanto, em vez de ser balanceado contra as massas aceleradas pela gravidade, a força resultante da pressão é medida por uma célula de carga balanceada pela força à qual o pistão é preso. Como o pistão-cilindro é instalado com câmaras pressurizadas em sua parte inferior e superior, a pressão de referência contra a qual a pressão é definida pode ser alterada (atmosfera para namométrica, vácuo para absoluta). Zerar a célula de carga com as câmaras alta e baixa a uma pressão comum, tara a massa do pistão e quaisquer outras forças não devidas à pressão medida, permitindo que a medição da pressão comece do zero. O valor da pressão diferencial aplicada é calculada à partir da área efetiva do pistão-cilindro e do valor líquido da força medido pela célula de carga.
Para evitar a instabilidade e a complexidade mecânica da centralização do pistão ao girá-lo no cilindro, o pistão FPG é centralizado pelo fluxo de uma pressão de gás lubrificante independente na folga pistão-cilindro. A folga é cônica, estreitando simetricamente em direção às extremidades do pistão. A folga pistão-cilindro é de 1 a 6 μm e a pressão de lubrificação é 40 kPa maior do que a pressão de referência, mantendo o fluxo nas câmaras de medição muito baixo (menos de 1 sccm total). A força ao longo do pistão é transmitida para a célula de carga através do sistema de acoplamento gimbal que mantém o pistão em seu centro de gravidade. A passagem do sistema de conexão também é usada para abastecer o gás de lubrificação do pistão-cilindro. A célula de carga é encapsulada em uma câmara hermética através da qual o gás de lubrificação flui. O design da câmara da célula de carga contribui para manter sua temperatura constante e o gás de lubrificação é condicionado para assegurar a umidade relativa.
Controle
O controlador de pressão do FPG8601 opera ajustando-se o fluxo ao longo de uma restrição de fluxo. O lado montante da restrição é conectado à câmara de pressão do FPG e o lado juzante é conectado à câmara de pressão FPG inferior e à atmosfera ou a uma fonte de vácuo independente para operação no modo absoluto. Diversas restrições de fluxo de diferentes condutâncias são incluídas e aquela adequada para a faixa de pressão é selecionada automaticamente. Dois controladores de fluxo de massa (MFC), um para o controle grosseiro da pressão e outro, de faixa menor, para o controle fino da pressão são usados em paralelo para ajustar o fluxo em um loop de feedback. O controle baseia-se na diferença entre o ponto de ajuste da pressão e a medição da pressão do FPG. Um regulador de pressão de dois estágios, sendo o segundo estágio referenciado ao lado juzante das restrições de fluxo fornece uma pressão de entrada estável aos controladores do fluxo de massa.
Operação automatizada
O FPG8601 inclui um controlador de sistema baseado em Windows®. O controlador do sistema se comunica com o hardware do FPG8601 e com os dispositivos em teste. O software FPG Tools™ monitora e controla a operação do FPG e suporta uma ampla gama de funções de alto nível, incluindo operar sequências de teste totalmente automatizadas, sem supervisão com a aquisição dos dados do dispositivo sob teste. Todo os dados do FPG e do dispositivo sob teste são registrados em arquivos de dados delimitados que são facilmente baixados para outros aplicativos para análise. Algumas das funções do software FPG Tools incluem:
- Alterações no modo de medição (namométrico/absoluto)
- Auto zero e auto span da célula de carga
- Ajuste do tempo médio do ponto de dados
- Alteração excessiva nos alarmes da condição de operação
- Correções da transpiração térmica em modo absoluto baixo
- Configuração do dispositivo sob teste
- Definição e armazenagem do procedimento de teste
- Execução de testes totalmente automatizada
- Plotagem do resultado do teste em tempo real
Modos de medição namométrico, absoluto e absoluto diferencial
O FPG8601 suporta três modos de medição diferentes:
- Modo manométrico: A câmara inferior do FPG e o lado "baixo" do teste são conectados juntos e deixados abertos à atmosfera.
- Modo absoluto: A câmara inferior do FPG é esvaziada e o vácuo residual é medido por um medidor de vácuo. Esse modo é usado para calibrar DUT absolutos vedados.
- Modo absoluto diferencial: A câmara inferior do FPG e o lado "baixo" do teste são conectados juntos e esvaziados. Esse modo é usado para calibrar DTU diferenciais em relação ao vácuo.
Sistema de bancada sem exigências ambientais especiais
O FPG8601 pode ser instalado em uma bancada de laboratório de alta qualidade de 2 m (6 pés). O controlador de pressão é frequentemente montado sob a bancada. O local da bomba de vácuo precisa ser considerado quando o recurso de pressão absoluta estiver incluído. Uma bancada com montagem personalizada pode ser fornecida com o sistema, se desejado.
As exigências ambientais para a operação do FPG8601 são aquelas geralmente encontradas em laboratórios de metrologia de alto nível.
Instalação e Serviços de Treinamento
Três a cinco dias de instalação e serviços de treinamento são recomendados com uma nova instalação do FPG8601. Esses serviços incluem a configuração e o teste do sistema FPG8601, bem como o treinamento dos usuários na operação e manutenção, incluindo a execução dos testes típicos. O treinamento pode ser fornecido nas instalações da Fluke Calibration, em Phoenix, Arizona antes da entrega e/ou no local de instalação após a entrega.
Geral |
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Requisitos de energia | FPG8601 85 a 264 VCA, 50/60 Hz, 60 VA máx. VLPC 85 a 264 VCA, 50/60 Hz, 70 VA máx. |
Faixa de temperatura operacional normal | 20 a 26°C |
Estabilidade da temperatura ambiente | Taxa máxima de 0,1°C/minuto |
Peso | Plataforma do FPG8601 30 kg (66 lb) Terminal do FPG8601 2 kg (4,4 lb) Controlador de pressão VLPC 41 kg (90,4 lb) |
Dimensões | Plataforma do FPG8601 53 cm A x 36 cm L x 35 cm P (21 pol. x 14 pol. x 14 pol.) Terminal do FPG8601 12 cm Ax 15 cm L x 20 cm P (4,7 pol. x 6 pol. x 8 pol.) Controlador de pressão VLPC 31 cm A x 51 cm L x 53 cm P (12,2 pol. x 20 pol. x 21 pol) |
Controlador do sistema | Opera o FPG Tools™, sistema operativo Windows®, interfaces RS232 e IEEE-488 para FPG e a aquisição de dados de DUT |
Faixa total de pressão | 0 a 15 kP manométrico, absoluto, absoluto diferencial |
Meio de teste | N2 ou ar |
Tempo de alteração de modo | Absoluto para Manométrico 30 minutos Manométrico para Absoluto 1 hora |
Vibração | Como acontece com os medidores de pistão convencionais, as bombas de vácuo precisam ser conectadas com tubos flexíveis |
Fornecimento de pressão | Gás de lubrificação do pistão-cilindro (FPG8601): 700 a 800 kPa, N2 ou ar limpo, seco Vácuo de referência FPG (para modos absolutos): Bomba turbo: 378 m3/h típico, pressão máxima de 8,10-6 Pa Bomba de palheta giratória: 16,5 m3/h, Pressão máxima de 0,2 Pa Abastecimento VLPC: 700 a 800 kPa, N2 limpo, seco Vácuo VLPC: 10 m3/h a 0,5 Pa Ar de acionamento (FPG8601 e VLPC): 400 a 700 kPa ar comprimido |
Conexões de pressão | Teste alta (FPG8601): KF16 Teste baixa (FPG8601): KF16 Ref. de vácuo (FPG8601): KF25 Vácuo (FPG8601): 1/8 pol. NPT F Acionamento/lubrificação (FPG8601): 1/8 pol. NPT F Abastecimento (VLPC): 1/8 pol. NPT F Acionamento (VLPC): 1/8 pol. NPT F Vácuo (VLPC): KF25 |
Medição da pressão |
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Faixa total | 0 a 15 kP manométrico, absoluto, absoluto diferencial |
Efeito da temperatura | Temperatura do instrumento monitorada e alerta fornecido quando a taxa e/ou magnitude da alteração de temperatura é significativa ao desempenho |
Resolução | Padrão: 0,010 Pa Opção de alta resolução: 0,001 Pa |
Incerteza de medição de pressão típica | Padrão: modos manométrico, absoluto, absoluto diferencial: ± (0,020 Pa + 30 ppm rdg) Modo absoluto: ± (0,025 Pa + 30 ppm rdg) Opção de resolução alta: modos manométrico, absoluto, absoluto diferencial: ± (0,005 Pa + 30 ppm rdg) Modo absoluto: ± (0,008 Pa + 30 ppm rdg) |
Vácuo residual típico no modo absoluto | Com bomba turbomolecular: 0,04 a 0,1 Pa Com bomba de palheta giratória: 0,3 Pa a 0,4 Pa |
Controle da pressão |
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Faixas de controle (Pa) |
Modo manométrico: 5 faixas de controle sobrepostas Pressão mínima: 0 Pressão mínima controlada: 0,1 Pa Modo absoluto: |
Precisão do controle |
Padrão: Modo manométrico: ± (0,020 Pa + 100 ppm de faixa) Modos absolutos: ± (0,020 Pa + 30 ppm de faixa) Opção de alta resolução: |
Volume de teste nominal |
Modo manométrico: Até 20 cc/lado (alto e baixo) Modo absoluto: Até 500 cc/lado (alto e baixo) |
Tempo de ajuste da pressão típico | 1 a 2 minutos, dependendo do volume do teste |
Pistão-cilindro |
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Tamanho nominal | Diâmetro: 35 mm Área: 10 cm2 |
Material do pistão | Carboneto de tungstênio |
Material do cilindro | Carboneto de tungstênio |
Sistema de montagem | Não rotativo, autocentralizado por pressão de lubrificação, centralmente fornecida, independente |
Folga pistão-cilindro | Folga cônica simétrica com conicidade dupla desde 6 mícron no ponto de lubrificação central até 1 mícron nas extremidades do cilindro |
Qualidade do gás de lubrificação | N2 ou ar limpo, seco, integrado, condicionado para 40 a 70% de umidade relativa |
Pressão do gás de lubrificação | Modo manométrico: 40 kPa manométrico Modos absolutos: 40 kPa absoluto Fluxo do gás de lubrificação: < 1 sccm total até as câmaras alta e baixa |
Medição secundária |
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Temperatura pistão-cilindro (°C) | Faixa: 0 a 40 Resolução: 0,01 Incerteza: ± 0,1 |
Vácuo residual (Pa) | Faixa: 0 a 13 Resolução: 0,001 Incerteza: ± (0,5% rdg + 5 mPa) |
Medição de monitoramento |
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Temperatura do gás de lubrificação (ºC) | Faixa: 0 a 40 Resolução: 0,1 Incerteza: ± 0,2 |
Pressão do gás de lubrificação (kPa) | Faixa: 0 a 200 absoluto Resolução: 0,001 Incerteza: ± 0,1 |
Umidade do gás de lubrificação (% de umidade relativa) | Faixa: 5 a 95 Resolução: 1 Incerteza: ± 10 |
Model Name | Descrição |
---|---|
FPG8601-SYS |
Sistema de medidor de pistão com balanceamento de força e resolução padrão Inclui:
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Accessories common to all models:
Acessório | Descrição |
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FPG8601-MODE-V-REF |
Modo de referência de vácuo |
MS-8601-2 |
Peso padrão de 2 kg c/ dispositivo para pendurar |
BENCH-8601-ABS |
Várias opções de bomba a vácuo para a referência FPG e o controlador VLPC nos modos absolutos (consulte seu representante de vendas de calibração de pressão Fluke) |
FPG8601-RES-HIGH |
Alta resolução (1 mPa) |
Manuais de produtos |
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Notas de aplicação |
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Folhas de dados |
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Software |
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COMPASS for Pressure Calibration Software Download/Upgrade |
FPGTools PC Based Software |
Folhas de instruções |
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